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Semiconductor Manufacturing & Packaging Equipment

HYRNUS provides semiconductor manufacturing, packaging and testing equipment for research, pilot production and mass-production applications. Our equipment portfolio covers multiple processes from wafer preparation and die attachment to wire bonding, molding, inspection, testing and final sorting.

  • Oxygen Plasma Cleaner
    2,5-Liter-Quarzkammer-Tisch-ICP-Vakuumplasmareiniger für Laborforschung
    Das Tischgerät HY-EB03H mit 2,5 l Volumen für die ICP-Plasmabehandlung ist ein kompaktes Laborgerät zur Oberflächenbehandlung mit 13,56 MHz HF-Leistung und zwei Gaskanälen. Es erzeugt hochdichtes ICP-Plasma zum Reinigen, Aktivieren, Ätzen und Verbinden von Materialien und findet breite Anwendung in der PDMS-Mikrofluidik, beim Veraschen von Fotolack und in der Halbleiterforschung. 
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  • bbos wire bonding equipment
    MEMS-Tiefzugangs-Drahtbondgerät BBOS-Drahtbondanlage
    Der HY-WB800 Vollautomat Tiefenzugangs-Drahtbonder Es wurde für die interne Chipverbindung in modernen Elektronikgehäusen entwickelt. Es findet breite Anwendung in Hybridschaltungen, MCMs, MEMS, HF-, Mikrowellen-, optoelektronischen und Automobilmodulen. Es zeichnet sich durch Echtzeit-Bonding und Ultraschallüberwachung, präzise Regelkreissteuerung, ein EFO-System und eine hochstabile Drahtzufuhr für zuverlässige High-End-Anwendungen aus.
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  • ultrasonic wire bonding machine
    Halbleiter-Kugelbondmaschine für optische Kommunikationskomponenten
    Die HY-WB400/HY-WB400P Drahtbondmaschine ist ein neig- und drehbares Werkstückhalter-Drahtbondsystem für die mehrplanare Verbindung in der Gehäusefertigung optischer Kommunikationsgeräte. Es zeichnet sich durch automatisches Materialhandling, anpassbare Vorrichtungen, einen programmierbaren optischen Pfad und ein hochpräzises XYZR-Direktantriebssystem aus. Dank schneller Umrüstzeiten und PR Look Ahead bietet es eine hohe Produktionsleistung und effiziente Fertigung.
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  • 165L Chamber Vacuum Plasma Cleaner
    Industrielle Vakuum-Plasma-Reinigungsanlage mit 165-Liter-Kammer für die Halbleiterverpackung in der Massenproduktion
    Dieser industrielle Vakuum-Plasmareiniger arbeitet mit 13,56-MHz-HF-Leistung und SPS-Touch-Steuerung. Ausgestattet mit einer nach Militärstandard abgedichteten Kammer, zwei Plasmamodi und zwei einstellbaren Gaskanälen, speichert er bis zu 100 Prozessrezepte und gewährleistet eine gleichmäßige Plasmabehandlung.
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  • wire bonding equipment
    Vollautomatische Drahtbond- und Kugelbondmaschine für Sensoren, Laser und optische Geräte
    Die HY-WB700/HY-WB700P Vollautomatischer Kugeldrahtbonder ist ein Standard-Planardrahtbondsystem, das für hochpräzise Halbleitergehäuseanwendungen entwickelt wurde. Es unterstützt anpassbare Schienen, Vorrichtungen und Magazine. Ausgestattet mit einem Zweifrequenzwandler, einem optischen Autofokus-Pfad, fortschrittlicher Bewegungssteuerung und einem mehrstufigen EFO-System gewährleistet es eine stabile, effiziente und äußerst zuverlässige Bondleistung.
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  • aluminum wire bonding machine
    Vollautomatische Drahtbondmaschine für dicke Drähte, Leistungsmodul-Drahtbondmaschine
    HY-HW300 Vollautomatisch Schwerdraht-Bonder Es wurde für die Chip-Verbindung in modernen elektronischen Bauteilen entwickelt und findet breite Anwendung in Leistungsmodulen für Elektrofahrzeuge, erneuerbare Energien, Schienenverkehr, Medizintechnik und Luft- und Raumfahrt. Es zeichnet sich durch Echtzeit-Überwachung der Bondverformung und der Ultraschallenergie, Regelungstechnik, zerstörungsfreie Prüfung und hochpräzise automatische Kalibrierung für einen stabilen und zuverlässigen Betrieb aus.
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  • Laboratory Plasma Surface Treatment Machine
    25-Liter-Vakuum-Plasma-Reinigungsanlage für Labore mit 7-Zoll-SPS-Touchscreen
    Das HY-EL25H ist ein Laborplasma-Behandlungssystem, das in Forschungsinstituten, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen von Unternehmen sowie in Pilotproduktionsanlagen für Kleinserien weit verbreitet ist. Es nutzt die CCP-Entladungstechnologie (kapazitiv gekoppeltes Plasma). Das System besteht aus einer quadratischen Vakuumkammer aus Edelstahl, einem Plasmagenerator, einer Vakuumpumpe sowie Gasein- und -auslässen.Es verbessert effektiv die Haftung auf Substratoberflächen und erhöht deren Hydrophilie. Dadurch findet es breite Anwendung in der Materialverbindung, Beschichtung, Substratfilmabscheidung und Wafer-Bonding. Das Gerät ermöglicht eine stabile und reproduzierbare Plasmabehandlung für Forschungsprojekte in den Bereichen Halbleiter, Mikrofluidik und neue Materialien.
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  • RF Vacuum Plasma Surface Treater
    13L CCP RF Vakuum-Plasmareiniger zum Entfernen von Wafer-Fotolack und zur Oberflächenaktivierung
    Das HY-PS13 ist ein CCP-Vakuumplasma-System zur Entfernung von Fotolack auf Wafern, zur Reinigung und Oberflächenaktivierung. Es ist in Forschungslaboren und der Kleinserienfertigung von Halbleitern beliebt. Die Edelstahlkammer mit Pumpen- und Gasmodulen verbessert die Materialhaftung und Hydrophilie für Bond-, Beschichtungs- und Dünnschichtprozesse.
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  • Lab Plasma Cleaning Machine
    Kompakte, stufenlos einstellbare Vakuum-Plasma-Reinigungsanlage (0–300 W) für Laborforschung und -entwicklung
    HY-ES10 ist ein experimentelles Plasmabehandlungssystem, das von Forschungsinstituten, Universitäten, Forschungs- und Entwicklungslaboren von Unternehmen sowie von Produktionslinien mit geringem Produktionsvolumen weit verbreitet eingesetzt wird. Es nutzt die CCP-Entladungstechnologie (kapazitiv gekoppeltes Plasma). Das Gesamtsystem besteht aus einer Vakuumkammer, einem Plasmagenerator, einer Vakuumpumpe sowie Gasein- und -auslässen. Die Behandlungskammer ist aus quadratischem Edelstahl gefertigt.
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  • Atmospheric Pressure Plasma Cleaning Machine
    Hocheffiziente Direktstrahl-Plasma-Reinigungsmaschine für einen breiten Temperaturbereich und atmosphärischen Druck
    Die HY-AR03 reinigt, aktiviert und modifiziert Werkstückoberflächen unter Umgebungsbedingungen. Sie optimiert die Substrathaftung, Hydrophilie und Bedruckbarkeit und entfernt organische Rückstände, Ölflecken und Oxidschichten. Ideal als Vorbehandlungsanlage für IC-Gehäuse, Druck-, Klebe- und Beschichtungsprozesse, unterstützt diese kompakte Einheit die automatisierte Inline-Produktion bei niedrigen Betriebskosten.
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  • Semiconductor Plasma Surface Treatment Machine
    Atmosphärischer Direktstrahl-Plasmareiniger für die Vorbehandlung und Oberflächenaktivierung von IC-Gehäusen
    HY-AD03 ist ein atmosphärischer direkter Das Plasmareinigungsgerät dient der Oberflächenreinigung, -aktivierung und -modifizierung unter Umgebungsbedingungen. Es zeichnet sich durch konzentrierte Energie bei geringem Behandlungsbedarf aus und verbessert so effektiv die Produkthaftung, Hydrophilie und Bedruckbarkeit. Zudem entfernt es Verunreinigungen wie organische Rückstände, Ölflecken und Oxidschichten von Materialoberflächen.
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  • Automatic Terminal Ultrasonic Welding Machine
    Ultraschall-Schweißmaschine für die Fertigung von Kupfer-Anschlussrahmen für Halbleiterbauteile
    Die HY-UTB600 ist eine hochpräzise, ​​automatische Ultraschallschweißanlage, die speziell für Leistungshalbleiter, Kupfersubstrate, Anschlusskabelbäume und Stromschienen entwickelt wurde. Sie findet breite Anwendung beim Schweißen von Metallanschlüssen für Leistungsmodule, Kupfer-Leadframes und andere elektronische Bauteile. Dank ihrer vollautomatischen Inline-Produktionskapazität bietet sie herausragende Schweißgenauigkeit, hohe Produktionseffizienz und geringe Wartungskosten.
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One-Stop Semiconductor Equipment Solutions

In addition to standalone semiconductor equipment, HYRNUS provides equipment configuration and integrated production line solutions for semiconductor manufacturing and electronic component packaging.

 

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01

Production Line Planning

Plan the production process, equipment layout, material flow and workstation configuration based on the available factory space, target capacity and automation requirements.

 

02

Process Solution Development

Develop a suitable process flow according to the device type, package structure, materials and manufacturing requirements, covering key processes such as die attach, wire bonding, molding, inspection, testing and sorting.

 

03

Equipment Selection and Configuration

Select and configure suitable machines based on production capacity, material compatibility, positioning accuracy, process control, automation level and data traceability requirements.

Semiconductor packaging production line

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