Halbleitermetallurgisches Messmikroskop zur IC-Gehäuseinspektion

Der HY-TM200 Halbleitermetallurgisches Messmikroskop Es wurde für die hochpräzise Inspektion und Dimensionsmessung von Halbleitergehäusen, integrierten Schaltungen (ICs), Leiterplatten und elektronischen Bauteilen entwickelt. Es integriert optische Beobachtung, digitale Bildgebung und Messfunktionen in einem kompakten System für Labor- und Produktionsanwendungen.

Ausgestattet mit einem unendlichen optischen System, Hell- und Dunkelfeld-Beobachtungsmodi sowie hochauflösender industrieller CCD-Bildgebung liefert das Mikroskop klare Bilder und präzise Messergebnisse. Mit einer Positioniergenauigkeit von bis zu ±0,1 μm und vielfältigen Messfunktionen wie Länge, Winkel, Radius und Höhe eignet es sich ideal für die Halbleiter-Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und Forschung & Entwicklung. Kundenspezifische Vorrichtungen sind erhältlich, um unterschiedlichen Prüfanforderungen gerecht zu werden.

Produktspezifikationen

Artikel	Details
Modell	HY-TM200
Abmessungen	700 x 800 x 800 mm
Gewicht	85 kg
Glasabmessungen	230 x 160 mm
Bühnenabmessungen	358 x 258 mm
Reisebereich	200 x 100 x 150 mm
Gitterskalenauflösung	Z-Achse:±0,1 µm XY-Achse:±0,5 µm (optional)±0,1 µm)
Optisches System	Optisches System mit unendlicher Brennweite
Bewegungsart	Handbuch
Ziele	5x, 10x, 20x, 50x
Okular	10x
Sichtfeld	Invertiertes Bild
Beobachtungsmethoden	Hellfeld- und Dunkelfeldmodus, frei umschaltbar
Oberflächen-/Bodenlichtquelle	3W LED-Koaxialbeleuchtung
XYZ-Positionierungsgenauigkeit	±0,1 µm
XYZ-Wiederholgenauigkeit	±0,1 µm
XY-Messgenauigkeit	(3 + L/100) µm (L = gemessene Länge)
Z-Messgenauigkeit	(3 + L/25) µm (L = gemessene Höhe)
Anzeigefunktionen	RS232-Ausgang, XYZ-Nullstellung/Zentrierung, Umrechnung zwischen imperialen und metrischen Einheiten, Genauigkeitskalibrierung
Z-Achsen-Steuerung	Hochpräzises Koaxialrad zur Steuerung vertikaler Bewegungen
Positioniergenauigkeit der Z-Achse	±0,1 µm
Betriebsspannung	Wechselstrom 220 V
Nennleistung	100 W

 

Hauptfunktionen

NEIN.	Details
1	Messung des Durchmessers einer Goldkugel (Längenmessung)
2	Dickemessung der Goldkugel (Winkelmessung)
3	Golddrahtbogenmessung (Radiusmessung)

 

Vorteile

Artikel	Details
Vielseitige optische Komponenten	Kompatibel mit inländischen und importierten optischen Komponenten, unterstützt Hellfeld-, Dunkelfeld-, Differenzialinterferenzkontrast- (DIC), Polarisations- und Epifluoreszenzmodi.
Zielturm	Kann bis zu 5 Objektive aufnehmen, mit Vergrößerungen von 5x, 10x, 20x, 50x und 100x, um verschiedenen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden.
Bildgebungssystem	Ausgestattet mit einer industrietauglichen Farb-CCD-Kamera, die über das Zoomobjektiv hochwertige Bilder aufnimmt, diese in elektronische Signale umwandelt und zur Analyse an einen Computer überträgt.
Ergonomische Datenanzeigeeinheit	Konzipiert für den unabhängigen Betrieb mit einstellbarem Winkel, ermöglicht es komfortables Messen im Stehen oder Sitzen. Unterstützt Nullstell- und Zentrierfunktionen für hochpräzise Kalibrierung.
Präzisions-Gewindespindelantrieb	Die Spindel und die Mutter aus Edelstahl ermöglichen eine schnelle und präzise Justierung und verbessern so die Messgenauigkeit. Die stabile Konstruktion reduziert Vibrationen des Messtisches und gewährleistet eine genauere Positionierung.

 

Produktdetails