
Produktanwendung
Dieses Gerät eignet sich zur Bearbeitung von Siliziumwafern, kunststoffverpackten Bauteilen (QFN, BGA usw.), Leiterplatten, Keramiksubstraten (Aluminiumoxid, Zirkonoxid usw.), Oxidkeramiken (Thermistoren, Varistoren, Fotowiderstände), Glas, Quarz, Lithiumniobat, Lithiumtantalat und magnetischen Materialien.
Es wird in zahlreichen Branchen, darunter Elektronikbauteile, integrierte Schaltungen (ICs), LEDs, Solarzellen, optische Geräte, faseroptische Bauteile und elektronische Keramik, für präzises Trennen eingesetzt.

Zuverlässiges und komfortables Betriebssystem
1. Ein 15-Zoll-Touchpanel zeigt umfassende Daten zum Betriebszustand der Maschine an und ermöglicht so ein einfacheres und reibungsloseres Bedienerlebnis.
2. Alle Fluidparameter werden softwaregesteuert und in Programmgruppen gespeichert, wodurch sich die Fehlersuche bei Produktwechseln verkürzt.
3. Eine speziell optimierte Software für die Bearbeitung mehrerer Werkstücke ermöglicht eine um 10 % höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit als herkömmliche Bearbeitungsroutinen.
4. Selbstentwickelte Low-Level-Bewegungssteuerungs- und Bildverarbeitungsalgorithmen verbessern die Zuverlässigkeit und Stabilität des Gesamtsystems.
5. Es unterstützt die branchenüblichen SEMI-Kommunikationsprotokolle für eine einfache Integration in Fabrikautomatisierungssysteme.

Technische Spezifikationen
| NEIN. | Artikel | Spezifikationsparameter | Anmerkungen |
| 1 | Verarbeitungsgröße | Φ210 mm / Φ150 mm | 8 Zoll / 6 Zoll |
| 2 | Importierte Spindel | Drehzahl: 10000–60000 U/min | |
| Leistung: 1,8 kW |
| 3 | X-Achse | Verfahrweg beim Würfeln: Max. 220 mm | |
| Antriebsart: Servomotor |
| Auflösung: 0,001 mm |
| Würfelgeschwindigkeit: 0,1–1000 mm/s |
| 4 | Y-Achse | Verfahrweg beim Würfeln: Max. 220 mm | |
| Antriebsart: Servomotor + vollständig geschlossener Gitterlineal |
| Wiederholgenauigkeit: 0,002 mm / 5 mm |
| Auflösung: 0,0005 mm |
| Kumulativer Fehler: 0,005 mm / 220 mm |
| Würfelgeschwindigkeit: 0,1–300 mm/s |
| 5 | Z-Achse | Effektiver Hub / Spannfuttergröße: Max. 30 mm / Ø 58 mm | Maximale Schnitttiefe ≤ 4 mm |
| Antriebsart: Servomotor |
| Auflösung: 0,001 mm |
| Wiederholgenauigkeit der Positionierung: 0,001 mm |
| Spannfuttergröße: Φ47,4 mm ~ Φ54 mm |
| Klingenaußendurchmesser: Max. Φ58 mm |
| Maximale Verfahrgeschwindigkeit: 90 mm/s |
| 6 | θ-Achse | Drehbereich: Max. 380° | |
| Antriebsart: DD-Direktantriebsmotor |
| Wiederholgenauigkeit der Positionierung: 3 Bogensekunden |
| Auflösung: 0,0002° |
| 7 | Ausrichtungssystem | Beleuchtung: Koaxial + Ringlicht | |
| Vergrößerung: Niedrig 0,75x / Hoch 1,5x |
| Sichtbare Bildauflösung: 0,0005 mm |
| 8 | Gerätegewicht | 500 kg ±5% | |
| 9 | Gesamtabmessungen | 1030 mm × 900 mm × 1750 mm | |
| 10 | Gesamtleistung der Ausrüstung | 4 kW | |

Betriebsumgebung
| Artikel | Spezifikationen |
| Umgebungstemperatur | Die Maschine soll in einer Umgebung von 25°C installiert werden, vorzugsweise in einem staubfreien Reinraum mit konstanter Temperatur. |
| Stromversorgung | Einphasig, 220 V Wechselstrom, 4 kW |
| Druckluft | Es wird Druckluft mit einem Filterwirkungsgrad von ≥ 99,5 % für Partikel mit einer Größe von 0,01 μm verwendet. Zur Entfeuchtung ist ein Kältetrockner vorhanden. |
| Luftdruck: 0,6–0,8 MPa |
| Luftverbrauch der Spindel: 80 l/min |
| Gesamtluftverbrauch der Maschine: 190 l/min |
| Würfelwasser | Die Temperatur des Schneidwassers muss auf Raumtemperatur ±2 °C und der Druck auf 0,2–0,4 MPa geregelt werden. Leitungswasser ist zulässig, und das Abwasser kann nach der Aufbereitung direkt eingeleitet werden. |
| Wasserverbrauch: 2 l/min |
| Kühlwasser (Spindelkühlung) | Reinstwasserzirkuliert durch einen Wasserreiniger. Wassertemperatur auf Raumtemperatur ±2 °C geregelt, Druck 0,2–0,4 MPa. |
| Umgebung | Installieren Sie das Gerät nicht in der Nähe von Gebläsen, Lüftungsöffnungen oder Geräten, die hohe Temperaturen und Ölnebel erzeugen. |