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HY-SW360 wird zum Aufbringen von Verbindungshalbleiter-Wafern auf Keramikplatten vor dem Ausdünnen verwendet. Es zeichnet sich durch präzises, quantitatives Dosieren von Festwachs, unabhängiges Pressen mit Luftzylindern und genaue Temperaturregelung aus und erreicht nach der Montage eine TTV von ≤ 0,005 mm. Bestehend aus mechanischen, pneumatisch-wassergekühlten und elektrischen Steuerungssubsystemen, gewährleistet es eine stabile und hochpräzise Wachsmontage für Wafer-Dünnungsprozesse.
Marke :
HYRNUSArtikelnummer :
HY-SW360Bestellung (Mindestbestellmenge) :
1 SetGarantie :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceZahlung :
T/TLieferzeit :
7-35 DaysProduktursprung :
ChinaHalbautomatische Wachsmontagemaschine für IC-Bonding und Silizium-Halbleiterwafer
Produkteinführung
HY-SW360 Halbautomatische WachseinbettungsmaschineFührt das Waferbonden auf Keramikträger als Vorprozess für das einseitige Wafer-Dünnen durch.
Das System nutzt ein Festwachsschmelzverfahren mit präziser Wachsdosierung von ±0,02 g, kombiniert mit unabhängiger Luftzylinderkompression und zwei Heiz-/Kühlplattformen mit präziser, geschlossener Temperaturregelung. Die Ebenheit der fertigen Montage erreicht einen TTV-Wert von ≤ 5 μm. Die Anlage ist für 4-Zoll- und 6-Zoll-Wafer ausgelegt, verfügt über eine zentrale SPS-Steuerung und besteht aus integrierten mechanischen, pneumatisch-wassergekühlten und elektrischen Steuerungssubsystemen, die einen stabilen Langzeitbetrieb und eine gleichbleibend hohe Präzision der Wachsmontage beim Wafer-Rückseitenschleifen gewährleisten.
Produktvorteile
1.Verwendet das Festwachsschmelzverfahren für eine genaue und quantitative Wachsdosierung.
2.Das Heiz- und Kühlfutter ist mit einem Präzisionsheiz- und automatischen Kühlsystem ausgestattet, um die Temperatur der Futteroberfläche genau zu steuern.
3.Verwendet unabhängige Zylinderpressung mit präziser Luftdruckregelung, was eine genaue Kontrolle der Wachsschichtdicke ermöglicht.
4.TTV nach der Montage ≤ 0,005 mm.
Anwendungsgebiete
Diese Anlage wird hauptsächlich zum Aufbringen von Wafern wie GaN, GaAs, Saphir und SiC auf die Oberfläche von Keramikträgern vor dem einseitigen Dünnen verwendet.
Wichtige Systeme der Ausrüstung
| Systemkategorie | Komponente | Spezifikation / Marke |
| Mechanische Struktur | Blech | Vierkantrohr 60×60×5 mm nach nationalem Standard + Außenrahmen mit industrietauglicher Einbrennlackierung |
| Teile | 45# Stahl mit Hartchrombehandlung / Edelstahl 304 / AL6061 mit Anodisierung | |
| Pneumatischer Druckhaltemechanismus | Eigene Fertigung | |
| Heizstufenmechanismus | Eigene Fertigung | |
| Transfermechanismus | Eigene Fertigung | |
| Linearführung | THK / HIWIN / TBI | |
| Elektrisches Steuerungssystem | SPS | Panasonic / Mitsubishi / Delta |
| Touch-Screen | Weinview / Weintek / Advantech | |
| Stromschutz | Fehlerstromschutzschalter (Mingwei / Schneider) | |
| Gleichstromversorgung | Schaltnetzteil (Mingwei / Schneider) | |
| Pneumatisches System | Luftzylinder | SMC / CKD / FESTO |
| Druckregelung | SMC / CKD / FESTO | |
| Druckregelung | SMC / CKD / FESTO | |
| Druckanzeige | SMC / CKD / FESTO | |
| Magnetventil | SMC / CKD / FESTO |
Technischer Parameter
| Parametername | Spezifikation |
| Modell | HY-SW360 |
| Anwendbare Wafergröße | 4 Zoll / 6 Zoll |
| Saugroboter-Hub | 450 mm |
| Saugroboterachsenanzahl | Einachsig (3-Achs-Ausführung vorbehalten) |
| Genauigkeit der Neupositionierung des Saugroboters | ±0,05 mm |
| Vakuumdruckbereich des Saugroboters | -70 ~ -90 kPa |
| Keramische Trägerdimension | Φ360 × 15 mm |
| Lebensdauer von festem Wachs | 350 Waffeln pro Wachsstäbchen |
| Temperaturregelbereich des Wachsspenders | 40℃ ~ 130℃ |
| Betriebstemperatur des Wachsspenders | 100℃ |
| Wachsdosiergenauigkeit | ±0,02 g |
| Genauigkeit der Neupositionierung des Wachsspenders | ±0,05 mm |
| Aufheizzeit der Heizplatte | 3 Minuten |
| Abkühlzeit der Heizplatte | 3 Minuten |
| Temperaturregelbereich der Heizplatte | 60℃ ~ 130℃ |
| Präzise Temperaturregelung der Heizplatte | ±0,5℃ |
| Presszylinderbelastung | 100 ~ 1000 kg bei 0,6 MPa ±1 % FS |
| Gleichmäßigkeit der Wachsschicht | TTV ≤ 5 μm |
| Allgemeine Luftversorgung | 0,4–0,7 MPa (trocken und ölfrei) |
| Hauptsteuerungssystem | SPS |
| Gesamtstromverbrauch | Ca. 7 kW |
| Gesamtgewicht der Maschine | ca. 1000 kg |
| Gesamtabmessungen (L×B×H, mm) | 1550×1550×1900 (ohne Höhe der dreifarbigen Kontrollleuchte) |
Standortanforderungen
| Kategorie | Artikel | Spezifikation |
| Standortausstattung (Hilfsausrüstung) | Stromversorgung | Maschinenspannung: AC 220 V ± 10 %, Stromstärke: 20 A, Leistung: 1,2 kW |
| Umweltanforderungen | Werkstatttemperatur: 15°C-25°C, relative Luftfeuchtigkeit: ≤80% | |
| Luftzufuhr | 0,4–0,6 MPa, Durchflussrate >20 l/min, Rohrdurchmesser: Φ12 mm | |
| Kühlwasserversorgung | Einlasswassertemperatur: 3–22 °C, Umwälzwasserdurchfluss: 15–30 l/min, Umwälzwasserversorgungsdruck: 0,2 MPa |
Produktdetails
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